基于MEMS技术的微型传感器

文章摘要： 微型传感器的智能化具有自诊断、自校准、自补偿功能,能够实现对信息的存储和记忆,能够完成多传感器多参数混合测量和对信号数据的实时处理,并且实现数字量的输出。智能微型传感器可以从根本上改变传统传感器功能单一的状况,把对物理信号的探测、分析和数字化处理集成。不仅使传感系统的性能得到极大地提高,而且能够简化传感系统的设计,大大降低成本。 如今,在已经实现微型传感器初步智能化的基础上,人们正利用模糊理论和神经网络等技术力图实现微传感器智能化的更高形态—分布式网络化 。 微型传感器的多功能化借助于敏感元件中不同的物理结构或化学物质及其各不相同的表征方式,用单独一个传感器系统来同时实现多种传感器的功能,

基于MEMS技术的微型传感器,标签：传感技术知识,传感器与检测技术,http://www.88dzw.com
 

 　微型传感器的智能化

具有自诊断、自校准、自补偿功能,能够实现对信息的存储和记忆,能够完成多传感器多参数混合测量和对信号数据的实时处理,并且实现数字量的输出。

智能微型传感器可以从根本上改变传统传感器功能单一的状况,把对物理信号的探测、分析和数字化处理集成。不仅使传感系统的性能得到极大地提高,而且能够简化传感系统的设计,大大降低成本。

 

如今,在已经实现微型传感器初步智能化的基础上,人们正利用模糊理论和神经网络等技术力图实现微传感器智能化的更高形态—分布式网络化 。

 

微型传感器的多功能化

借助于敏感元件中不同的物理结构或化学物质及其各不相同的表征方式,用单独一个传感器系统来同时实现多种传感器的功能,这是目前微型传感器技术一个全新的发展方向。

 

多功能微型传感器可以对多种物理量进行探测。比如,微型数字式三端口传感器就是同时采用热敏元件、光敏元件和磁敏元件进行组配,从而达到探测多种信号目的,这种组配方式的传感器不但能够输出模拟信号,而且还能够输出频率信号和数字信号。

 

多功能微传感器在许多应用领域中可以全面而准确的反映客观对象。对它的研究多集中在触觉敏感、嗅觉传感以及视听辨别等各类仿生传感器上,比如由PVDF 材料、无触点皮肤敏感系统以及橡胶触觉传感器等组成人造皮肤触觉传感器;由交叉选择式气体传感器陈列和恰当模式识别系统组成的,具有识别简单和复杂气味的能力的“电子鼻”等。

 

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