晶圆级CSP装配工艺的印刷钢网的设计和制作

文章摘要：图2 标准偏差与面积比之间的关系化学蚀刻、激光切割和电铸所获得开孔质量比较如图3、图4和图5所示。 图3 化学蚀刻工艺——应用于精度没有严格要求的场合 图4 激光切割工艺——应用于较高精度、细间距的元件图5 电铸工艺——应用于高精度、超细间距的元件或超薄印刷模板一般的钢网制造商都可以将制造公差控制在±1 mil，对于制作好的印刷钢网，我们重点需要检查表面及孔壁是否光滑平整、钢网张力是否符合要求及开孔尺寸位置和形状误差是否在允许的范围内这几个方面。印刷钢网由于很薄，很脆弱，在运输使用过程中需要小心保护。钢网的

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图2  标准偏差与面积比之间的关系

　　化学蚀刻、激光切割和电铸所获得开孔质量比较如图3、图4和图5所示。

                         
　图3 化学蚀刻工艺——应用于精度没有严格要求的场合　                   　图4 激光切割工艺——应用于较高精度、细间距的元件

图5 电铸工艺——应用于高精度、超细间距的元件或超薄印刷模板

　　一般的钢网制造商都可以将制造公差控制在±1 mil，对于制作好的印刷钢网，我们重点需要检查表面及孔壁是否光滑平整、钢网张力是否符合要求及开孔尺寸位置和形状误差是否在允许的范围内这几个方面。印刷钢网由于很薄，很脆弱，在运输使用过程中需要小心保护。钢网的保养也非常重要，使用完之后需要彻底清洁，在无外力的情况下放置于支架上，保持平整。对于出现“硬币效应”或磨损的钢网，需要及时报废，更换新的印刷钢网。

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