当前位置：MEMS传感器性能提高相关技术研究
- 名称：MEMS传感器性能提高相关技术研究
- 类型：传感与控制技术
- 授权方式：免费版
- 更新时间：09-11 17:53:50
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《MEMS传感器性能提高相关技术研究》简介
标签：传感器技术,
摘要：在分析MEMS（微电子机械系统）传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后，提出了MEMS传感器技术实用化的关键——提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用。， 大小：161 KB
Tag:传感与控制技术，传感器技术，传感与控制技术
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