射频Si/SiGe/Si HBT的研究

  • 名称:射频Si/SiGe/Si HBT的研究
  • 类型:无线通信
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  • 更新时间:09-11 00:09:59
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《射频Si/SiGe/Si HBT的研究》简介

标签:无线通信技术,
摘要:在Si/SiGe/Si HBT与Si工艺兼容的研究基础上,对射频Si/SiGe/Si HBT的射频特性和制备工艺进行了研究,分析了与器件结构有关的关键参数寄生电容和寄生电阻与Si/SiGe/Si HBT的特征频率fT和最高振荡频率fmax的关系,成功地制备了fT为2.5 GHz、fmax为2.3 GHz的射频Si/SiGe/Si HBT,为具有更好的射频性能的Si/SiGe/Si HBT的研究建立了基础。, 大小:5.54 MB
Tag:无线通信无线通信技术无线通信

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